AHL9000ハイブリッド軸受ダイレクトドライブXYリニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • エアベアリングスキャン軸。機械ベアリングステップ軸
  • 2台のリニアモーターによるステップ軸駆動
  • 最大移動量1.2 m x 1.2 m
  • リニアエンコーダまたはレーザー干渉計フィードバック

Aerotechのエアベアリングステージ製品群に新たに加えられたAHL9000は、価格と性能のバランスを慎重にとる必要のある用途に最適な選択肢です。 このステージは、優れたステップおよびスキャン性能を必要とする厳しい要件向けに特別設計されました。 用途には、ウェハー検査、薄型パネルディスプレイの製造、光学検査&光学機器製造などがあります。

ハイブリッド軸受デザイン

AHL9000のスキャン軸は、ABL9000平面型エアベアリング用に開発された、実績のあるエアベアリング技術を採り入れて設計されました。 この軸には、垂直面と水平面の双方にアクティブプリロードを施して優れた剛性とダイナミックパフォーマンスを提供します。 AHL9000は、機械ベアリングステップ軸としてコストパフォーマンスも優れています。 この2つのベアリング技術を1つのステージに結集させることで、ステップおよびスキャン動作に最適化されたシステムが実現します。

リニアモータードライブ

このステージを支える駆動力は、AerotechのBLMシリーズブラシレスリニアサーボモーターです。 モーターメーカーとしてのAerotechの長い歴史と経験がこの最新設計に反映されています。 BLMにはコギングや吸引力が発生しないアイアンレスフォーサーが使用されているため、非常に滑らかなモーションです。 大きな力と速度を生成できるBLMは、パワーと性能の究極の組み合わせです。

高性能

サブミクロンの繰り返し精度を持つ非接触リニアエンコーダは、すべてのAHL9000シリーズステージに標準搭載されています。 オプションの2D工場較正では標準精度、直線性、ヨーなどの仕様をさらに優れたレベルに高めることができます。

ケーブル管理

ケーブルの曲げ半径を慎重に最適化し、長年にわたる故障のない運転を実現します。 万一コンポーネントに故障が起きても、モジュラーデザインのため、最小限のダウンタイムで簡単にケーブルが交換できます。

最終的なシステムへの統合を円滑にするため、ユーザー要求ケーブル、空気ホースなどすべてをCMSに統合します。 両端にはすべてコネクタが付き、お客様のマシンに簡単に統合できます。

仕様

AHL9000の仕様

基本モデルAHL90350-350
移動量 350 mm x 350 mm
ドライブシステム リニアブラシレスサーボモーター
(ブリッジ軸: BLM-264-A
ガントリー軸: BLM-203-A)
バス電圧 最大DC 160 V
連続電流
(ブリッジ軸)
Apk 最大5.10 A
Arms 最大3.61 A
連続電流
(ガントリー軸)
Apk 最大5.30 A
Arms 最大3.75 A
フィードバック 非接触リニアエンコーダ(LTまたはLN)
分解能 0.0005~1.0 µm
最大移動速度(1) 1000 mm/s
最大加速度 1.0 g (無荷重)
最大荷重(2) 30.0 kg
精度(3) LT ±1.5 µm
LN ±1.0 µm
繰り返し精度(3) LT ±0.5 µm
LN ±0.2 µm
直線性(Y軸) 最大偏差 0.6 µm
平坦性 最大偏差 0.6 µm
ピッチ/ロール/ヨー 3 arc sec
ステージ質量 535 kg
移動質量 ブリッジ 9.7 kg
ガントリー 34.0 kg
直交性 2 arc sec
動作圧力(4) 551.6 kPA +0、-34 kPa
空気消費量(5) 33 SLPM (1.17 SCFM)
材料(6) アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)
  1. 最大速度はステージ性能に基づいています。最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 最大荷重はベアリング性能に基づいて決まります。最大適用荷重は加速の条件によって制限されることがあります。
  3. AerotechのコントローラおよびHALAR較正で達成可能。
  4. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラESTOP入力に連携するインライン圧力スイッチを推奨します。
  5. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。純度99.9%の窒素ガスを推奨します。
  6. オプションの構成材料には、セラミック、インバール、ステンレス、チタンなどがあります。
  7. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

注文情報

AHL9000の注文情報については、Aerotechの応用エンジニアまでご連絡ください。