ATS3600機械ベアリング、ねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ付き

説明

設計の主な特徴

  • 大型クリアアパーチャ
  • 移動範囲は100 mm x 100 mmから400 mm x 400 mm
  • 高性能リニアモーションガイド
  • 15秒角の直交性
  • 高精度を実現する非接触リニアエンコーダ

高精度で堅牢なオープンフレームステージへの要求に応える製品がATS3600です。 この2軸大型アパーチャのオープンフレームステージは、走査型顕微鏡、ウェハー検査、プリント回路基板検査、および自動アセンブリの独自ニーズに対応します。

設計と構造

複数の個別ピースを組み立てた設計とは異なり、ATS3600は3ピースの設計です。 これによって、初期加工時における直交性、直線性、および平坦性といった重要なコンポーネントの制御を可能にし、優れた幾何公差と独自の直交性を備えたステージを実現します。

ATS3600は、軸当たり合計4トラックの高精度リニアモーションガイド(LMG)ベアリングを活用しています。 このため、ATS3600は高速かつ繰り返しの操作に適しています。 LMGベアリングは優れた剛性、高耐荷重、超低摩擦といった特性も持ち合わせています。

このステージが持つ高い剛性によって、サイドドライブでも優れた性能特性を維持します。 ATS3600は、一般的なサイドドライブステージの性能を大幅に進歩させました。

モーターとドライブ

ATS3600には、2つの高性能NEMA 23 BMSシリーズのブラシレススロットレスモーターとSM60ステッピングモーターが搭載されています。 このモーターはブラシレスモーターのあらゆる利点 – 高加速度、摩耗するブラシがない、低発熱 – を備えつつ、ゼロコギングで究極のスムーズモーションを実現します。

オプションのリニアエンコーダフィードバック

オプションとして高分解能、非接触リニアエンコーダが使用できます。 この非接触エンコーダは、幅広い動作条件で優れた繰り返し精度と安定性を発揮します。 デジタルおよびアナログの出力バージョンが使用可能です。 デジタルバージョンが0.1 µmの分解能を持つ一方で、アナログバージョンは、連結することで20 nmの分解能を実現します。

その他の構成

すべてのステージ移動では、単軸および2軸の双方の設計を提供すると同時に、アパーチャのないテーブルトップのオプションもご用意しています。

仕様

ATS3600の仕様

モデルATS3600-100XYATS3600-200XYATS3600-300XYATS3600-400XY
移動量 100 mm 200 mm 300 mm 400 mm
バス電圧 最大DC 160 V
最大移動速度(1) 200 mm/s
最大荷重(2) 90.0 kg
精度 高精度ボールねじのみ ±2.0 µm/25 mm
ダイレクトリニアフィードバック 較正時(3) ±2.0 µm
標準 ±4.0 µm ±8.0 µm ±12.0 µm ±16.0 µm
繰り返し精度(双方向) 高精度ボールねじのみ ±2.0 µm
ダイレクトリニアフィードバック ±1.0 µm
直線性および平坦性 差動 1.0 µm/25mm
最大偏差 ±2.0 µm ±4.0 µm ±6.0 µm ±8.0 µm
ピッチおよびヨー 10 arc sec 15 arc sec 18 arc sec 20 arc sec
公称ステージ重量 モーター抜き 22.8 kg 34.2 kg 44.4 kg 60.3 kg
モーター込み 26.4 kg 37.8 kg 48.0 kg 63.9 kg
構造 アルミ製本体、ブラックアルマイト仕上げ
  1. 過剰な負荷サイクルはステージ精度に影響を与えることがあります。
  2. ペイロード仕様は、ボールねじおよびベアリング寿命の移動量2500 km (1億インチ)に基づきます。
  3. Aerotechコントローラを使った場合。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上の単軸システムのもの向けです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。

寸法

注文情報

ATS3600シリーズの機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ付き

オプション 説明
ATS3600-100XY ATS3600-100XYシリーズの機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ、100 x 100 mm移動ステージ付き
ATS3600-200XY ATS3600-200XYシリーズの機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ、200 x 200 mm移動ステージ付き
ATS3600-300XY ATS3600-300XYシリーズの機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ、300 x 300 mm移動ステージ付き
ATS3600-400XY ATS3600-400XYシリーズの機械ベアリングねじ駆動式リニアステージ、アパーチャ、400 x 400 mm移動ステージ付き

モーター(オプション)

オプション 説明
-M1 2500ラインのTTLエンコーダを搭載したBMS60ブラシレスサーボモーター
-M2 BMS60ブラシレスサーボモーター、1000ライン1 Vppエンコーダ付属
-M3 SM60ステッピングモーター

リミット(必須)

オプション 説明
-LI1 通常閉のリミットスイッチ、9ピンDコネクタ
-LI2 通常閉のリミットスイッチ、フライングリード
-LI3 通常開リミットスイッチ、9ピンDコネクタ
-LI4 通常開リミットスイッチ、フライングリード

ダイレクトリニアフィードバック(オプション)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルリニアエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルリニアエンコーダ、0.1 μmデジタルTTL出力

カップリング(オプション)

オプション 説明
-CP1 直径0.250インチのシャフト用カップリング
-CP2 直径0.375インチのシャフト用カップリング

計測(必須)

オプション 説明
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。