PlanarDLA 2軸機械ベアリングダイレクトドライブステージ、アパーチャ付き

説明

設計の主な特徴

  • クリアアパーチャを備えた一体薄型XYリニアモーターステージ
  • 優れた幾何学性能(直線性で最大±0.5 µm、平坦性で最大±1.25 µm)
  • ハイダイナミック用途向けに最適化
  • 最大速度2 m/s、最大加速度2 g
  • 統合ケーブル管理
  • 豊富な選択肢 – 移動量と精度の9 つのモデル

AerotechのPlanarDLAシリーズステージは、コンパクトな薄型パッケージでクリアアパーチャ、高力学、優れた幾何学的性能を提供します。 こうしたステージは、高力学とマイクロメートルレベルの直線性を必要とする両面LEDウェハー処理から、高精度および精密な幾何学的性能を必要とする準静的光計測まで、幅広い用途に不可欠です。 どのような用途であれ、PlanarDLA は、設定可能な多くのオプションでお客様のニーズに対応するよう設計されています。

超精密ステージ設計

PlanarDLA のXY設計は、モーションの直線性および平坦性が重要な用途において、前例のない平面的な幾何学的性能を提供します。 高精度ローラーベアリング、精密機械加工面、および軸の剛心を通して動作する非接触ダイレクトドライブリニアモーターが、優れた幾何公差(直線性で最大±0.5 µm、平坦性で最大±1.25 µm)を備えた位置決めステージを実現します。

PlanarDLAの構造要素は、最も要求の厳しい動的用途に必要な高力学および高剛性のために最適化されています。 この最適化設計によって、PlanarDLAは、使用可能なクリアアパーチャを最大にし、全体的な高さを最低限に抑えると同時に、高いサーボ帯域幅を達成します。 2 m/sの速度と2 gの加速度を実現できるPlanarDLAは、高スループットおよび高精度処理を可能にし、優れた歩留りと低い総保有コストを提供します。

非接触型ダイレクトドライブ技術

メンテナンス不要で使用寿命の長い、高速かつ正確な位置決めを提供できるのは、非接触ダイレクトドライブ技術だけです。 PlanarDLA の心臓部には、Aerotech独自のダイレクトドライブ技術があります。 このドライブ技術は、競合他社のねじを使ったリニアモーター設計とは比較にならない性能を引き出します。

PlanarDLA ステージは、すべて軸ごとに1つ~2つのモーターを備え、特定の用途や処理に合わせて個々の軸を最適化できるようになっています。 モーターが2台の場合、生じる駆動力は摩擦と剛性の中心から作用して優れた幾何学的性能および精度が得られます。軸ごとにモーター1台では、高スループットで厳密な位置決め性能が要求されない場合の低コストな選択肢です。

さまざまなケーブル管理オプション

PlanarDLAの標準ケーブル管理システムはステージに統合され、耐用性と性能のために最適化されています。 サーボ軸の追加、真空チャック用空気/真空ラインなどの空気圧プロセス向けに、標準オプションが使用できます。

優れた位置決め性能

PlanarDLA には3つの位置決め性能オプションがあります。 位置決めの機構だけでなくソフトウェアやエレクトロニクスも含めた、数十年にわたるシステムレベルの設計経験を生かして、Aerotechでは精度の限界に挑む高度な技術を開発しました。 高性能の-PLUSオプションと-ULTRAオプションは、精度と直線性を±500 nmまで、そして直交性を5 µradまで下げることができます。

仕様

機械的仕様

 PlanarDLA-150XYPlanarDLA-250XY
  -PL1 -PL3(1、2) -PL4(1、2) -PL1 -PL3(1、2) -PL4(1、2)
移動量 150 mm x 150 mm 250 mm x 250 mm
精度(2) シングルモーター ±5.0 µm ±0.7 µm ±0.7 µm ±6.0 µm ±0.8 µm ±0.8 µm
デュアルモーター ±4.0 µm ±0.4 µm ±0.4 µm ±5.0 µm ±0.5 µm ±0.5 µm
双方向繰り返し精度 シングルモーター ±0.5 µm ±0.5 µm
デュアルモーター ±0.25 µm ±0.25 µm
分解能(最小限インクリメンタル運動)(3) 3.0 nm 3.0 nm
直線性 上軸 -M1または-M3モーター ±1.5 µm ±1.5 µm ±0.7 µm ±2.0 µm ±2.0 µm ±0.7 µm
-M2または-M4モーター ±1.0 µm ±1.0 µm ±0.5 µm ±1.5 µm ±1.5 µm ±0.5 µm
下軸 -M1または-M2モーター ±2.5 µm ±2.5 µm ±0.7 µm ±3.25 µm ±3.25 µm ±0.7 µm
-M3または-M4モーター ±2.0 µm ±2.0 µm ±0.5 µm ±2.75 µm ±2.75 µm ±0.5 µm
平坦性 ±1.25 µm ±1.75 µm
ピッチ 39 µrad (8 arc sec) 58 µrad (12 arc sec)
ロール 39 µrad (8 arc sec) 58 µrad (12 arc sec)
ヨー シングルモーター 39 µrad (8 arc sec) 49 µrad (10 arc sec)
デュアルモーター 29 µrad (6 arc sec) 39 µrad (8 arc sec)
直交性 97 µrad
(20 arc sec)
24 µrad
(5 arc sec)
5 µrad
(1 arc sec)
97 µrad
(20 arc sec)
24 µrad
(5 arc sec)
5 µrad
(1 arc sec)
最大速度(4) 1.5 m/s 2.0 m/s
最大加速度
(無荷重、上軸)(4)
1.0 g(-M1または-M3モーター)
2.0 g(-M2 または-M4モーター)
1.0 g(-M1または-M3モーター)
2.0 g(-M2 または-M4モーター)
最大力 - 連続、1.4 bar (20 psi)空冷 上軸 47 N(-M1または-M3モーター)
94 N(-M2 または-M4モーター)
120 N(-M1または-M3モーター)
240 N(-M2 または-M4モーター)
下軸 120 N(-M1または-M2モーター)
240 N(-M3 または-M4モーター)
250 N(-M1または-M2モーター)
500 N(-M3 または-M4モーター)
耐荷重(5) 水平方向 20 kg 30 kg
移動質量 上軸 4.3 kg(-M1または-M3モーター)
4.5 kg(-M2 または-M4モーター)
6.9 kg(-M1または-M3モーター)
7.2 kg(-M2 または-M4モーター)
下軸 18.1 kg(-M1モーター)
20.0 kg(-M2モーター)
18.5 kg(-M3モーター)
20.6 kg(-M4モーター)
33.7 kg(-M1モーター)
38.1 kg(-M2モーター)
34.6 kg(-M3モーター)
39.0 kg(-M4モーター)
ステージ質量(6) 30 kg-36 kg 60 kg-67 kg
材料 黒アルマイト処理アルミ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. -PL3および-PL4オプションは、Aerotechコントローラを使用する必要があります。
  2. -PL1および-PL3オプションの仕様は、テーブルトップから25mm上で測定された軸ごとの値です。 -PL4の仕様は、卓上から25mm上で測定されたXY値です。
  3. デュアルモーターに指定されています。 シングルモーターの場合については、工場にお問い合わせください。
  4. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  5. 記載定位置の軸積み込み。
  6. ステージの重さはモーター構成によって決まります。
 PlanarDLA-330XY
  -PL1 -PL3(1、2) -PL4(1、2)
移動量 330 mm x 330 mm
精度(2) シングルモーター ±8 µm ±1 µm ±1 µm
デュアルモーター ±6 µm ±0.7 µm ±0.7 µm
双方向繰り返し精度 シングルモーター ±0.5 µm
デュアルモーター ±0.25 µm
分解能(最小限インクリメンタル運動)(3) 3 nm
直線性 上軸 -M1または-M3モーター ±2.5 µm ±2.5 µm ±0.8 µm
-M2または-M4モーター ±2.0 µm ±2.0 µm ±0.6 µm
下軸 -M1または-M2モーター ±4.0 µm ±4.0 µm ±0.8 µm
-M3または-M4モーター ±3.5 µm ±3.5 µm ±0.6 µm
平坦性 ±2.5 µm
ピッチ 68 µrad (14 arc sec)
ロール 68 µrad (14 arc sec)
ヨー シングルモーター 58 µrad (12 arc sec)
デュアルモーター 49 µrad (10 arc sec)
直交性 97 µrad
(20 arc sec)
24 µrad
(5 arc sec)
5 µrad
(1 arc sec)
最大速度(4) 2.0 m/s
最大加速度(無荷重、上軸)(4) 1.0 g(-M1または-M3モーター)
2.0 g(-M2 または-M4モーター)
最大力 - 連続、1.4 bar (20 psi)空冷 上軸 173 N(-M1または-M3モーター)
346 N(-M2 または-M4モーター)
下軸 302 N(-M1または-M2モーター)
604 N(-M3 または-M4モーター)
耐荷重(5) 水平方向 50 kg
移動質量 上軸 13.4 kg(-M1または-M3モーター)
14.0 kg(-M2または-M4モーター)
下軸 57.0 kg(-M1モーター)
65.3 kg(-M2モーター)
58.1 kg(-M3モーター)
66.5 kg(-M4モーター)
ステージ質量(6) 93 kg-109 kg
材料 黒アルマイト処理アルミ
MTBF (平均故障間隔) 30,000時間
  1. -PL3および-PL4オプションは、Aerotechコントローラを使用する必要があります。
  2. -PL1および-PL3オプションの仕様は、テーブルトップから25mm上で測定された軸ごとの値です。 -PL4の仕様は、卓上から25mm上で測定されたXY値です。
  3. デュアルモーターに指定されています。 シングルモーターの場合については、工場にお問い合わせください。
  4. 十分な電圧・電流を備えた適切なアンプを選択する必要があります。
  5. 記載定位置の軸積み込み。
  6. ステージの重さはモーター構成によって決まります。

電気的特性

 PlanarDLA
ドライブシステム ブラシレスリニアサーボモーター
フィードバック 非接触リニアエンコーダ
最大バス電圧 DC 340V
リミットスイッチ 5V、通常閉
ホームスイッチ XY軸の移動量の中央近く

推奨コントローラ

 PlanarDLA
多軸 A3200 Ndrive CP
Ndrive HLe/Ndrive HPe
Npaq
Ensemble Ensemble CP
Ensemble HLe/Ensemble HPe
  • PlanarDLAプロット
    カンチレバー負荷の性能グラフ

寸法

注文情報

PlanarDLA 2軸機械ベアリングダイレクトドライブステージ、アパーチャ付き

オプション 説明
PlanarDLA-150XY クリアアパーチャを備えたリニアモーターXYテーブル、移動量150 mm x 150 mm
PlanarDLA-250XY クリアアパーチャを備えたリニアモーターXYテーブル、移動量250 mm x 250 mm
PlanarDLA-330XY クリアアパーチャを備えたリニアモーターXYテーブル、移動量330 mm x 330 mm

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 下軸にモーター1つ。上軸にモーター1つ
-M2 下軸にモーター1つ。上軸にモーター2つ
-M3 下軸にモーター2つ。上軸にモーター1つ
-M4 下軸にモーター2つ。上軸にモーター2つ

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、上軸と下軸に1 Vpp
-E2 インクリメンタルエンコーダ、上軸に0.1 µm TTL、下軸に1 Vpp
-E3 インクリメンタルエンコーダ、上軸に1 Vpp、下軸に0.1 um TTL
-E4 インクリメンタルエンコーダ、上軸と下軸に0.1 um TTL

ケーブル管理(オプション)

オプション 説明
-CMS1 空気/真空ラインのケーブル管理
-CMS2 空気/真空ラインおよび第3軸モーター/フィードバックのケーブル管理

性能等級(必須)*

オプション 説明
-PL1 基本性能
-PL3 高精度性能、PLUS
-PL4 超高精度2D性能、ULTRA
    *注: 性能等級、-PL3および-PL4にはAerotechコントローラが必要です。

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。