PlanarSL - 2軸、機械ベアリング、ボールねじステージ

説明

設計の主な特徴

  • 一体薄型XYボールねじステージ
  • 長寿命リニアモーションガイドベアリングシステム
  • オプションの低熱膨張ガラスリニアエンコーダ
  • コスト効果の高い、高精度平面性能
AerotechのPlanarSL 機械ベアリング、ボールねじ駆動式XYステージは、コスト効果が高い薄型のパッケージで、優れた性能を提供します。 コンパクトパッケージに2軸モーションを組み合わせたPlanarSL は、表面形状測定から一般的な高精度自動化まで、幅広い用途に最適のソリューションです。

堅牢で高精度な設計

PlanarSL には、精密研磨ボールねじと与圧済みボールねじが標準で装備されています。 ボールねじがサイドや中心から外れて配置されている競合デザインとは異なり、PlanarSL は、摩擦と剛性の中心を直接通過するように設計されているため、優れた幾何学的性能と精度をもたらします。

高精度リニアモーションガイドベアリングは、全XY移動域にわたって移動キャリッジの最適サポートを提供しつつ、優れた直線性および平坦性性能を実現します。 精密モーションシステムにおける慎重な設計と長年の経験を生かしたPlanarSL の構造要素は、最大限の平面性能を発揮するように最適化されています。

オプションの低熱膨張リニアエンコーダ

スチール製(熱膨張係数13 ppm/˚C)またはガラス製(熱膨張係数8 ppm/˚C)のスケールを使用する競合デザインとは異なり、PlanarSL は熱膨張の少ない(3.3 ppm/˚C)精密ガラススケールを両軸に装備し、長期間にわたる高精度と繰り返し可能位置決めを実現します。 リニアエンコーダは、増幅正弦波出力(1 Vpp)または0.1 µmのTTLデジタル出力が装備され、取り付け位置は作用中心付近のため、高精度位置決めに最適化されたステージソリューションです。

構成オプション

PlanarSL には、DC 24Vバイポーラステッピングモーターが標準で付いています。 Aerotechでは、自社のコントロールと併用できるように事前設定した高分解能ロータリーエンコーダを備えたブラシレスDCモーターとブラシDCモーターもご用意しています。

さまざまなコントロールオプション

PlanarSL シリーズの制御には、広範な最新鋭のモーションコントローラを使用できます。 このソフトウェアとドライブ電子回路の組み合わせは、あらゆる用途のニーズにも対応できるように、さまざまなレベルのコストおよび性能を提供しています。

仕様

機械的仕様

 PlanarSL-100XY
移動量 100 mm x 100 mm
精度 ボールねじ HALAR(1) ±1.5 µm
標準 ±4.0 µm
LTエンコーダ HALAR(1) ±1.0 µm
標準 ±3.0 µm
双方向繰り返し精度 ボールねじ ±0.75 µm
LTエンコーダ ±0.3 µm
分解能(最小インクリメンタル運動) 0.1 µm
直線性 ±2.0 µm
平坦性 ±2.0 µm
ピッチ 14 arc sec
ロール 14 arc sec
ヨー 8 arc sec
直交性 20 arc sec
最大速度(2) 30 mm/s
耐荷重(3) 水平方向 20 kg
ステージ質量 16.6 kg
材料 黒アルマイト処理アルミ
MTBF (平均故障間隔) 20,000時間
  1. Aerotechコントローラを使った場合。
  2. -SMオプションを付けた場合。 その他のモーターオプションについてはAerotechまでお問い合わせください。
  3. 記載定位置の軸積み込み。
  4. 仕様は、テーブルトップから25 mm上で測定された、軸ごとの値です。

電気的特性

 PlanarSL-100XY
ドライブシステム DC 24Vバイポーラステッピングモーター標準
その他のモーターも提供可能 – Aerotechに問い合わせ
フィードバック 非接触リニアエンコーダ(LT)オプション、
増幅正弦波(-AS)およびTTL (0.1 µm)バージョンも提供可能
最大バス電圧 DC 48V(1)
リミットスイッチ 5V、通常閉
  1. Aerotechのコントロールシステムを使用した場合。

推奨コントローラ

多軸 A3200 Ndrive CP
Ndrive MP
Npaq/Npaq MR
Ensemble Ensemble LAB
Ensemble CP
Ensemble MP
単軸 Soloist Soloist CP
Soloist MP

寸法

注文情報

PlanarSL-シリーズXYステージ

オプション 説明
PlanarSL-100XY ボールねじ駆動式XYテーブル、移動量100 mm x 100 mm

モーター構成

オプション 説明
-SM DC 24Vバイポーラステッピングモーター(標準)
  1. その他のモーターオプションも使用可能です。 詳細は、Aerotechまでお問い合わせください。

下軸リニアエンコーダ(オプション)

オプション 説明
-L-LTAS 下軸ガラス製スケールリニアエンコーダ。増幅正弦波出力1 Vpp (20 µm信号周期)
-L-LTX50 下軸ガラス製スケールリニアエンコーダ。直角位相後に0.1 µmラインドライバ出力

上軸リニアエンコーダ(オプション)

オプション 説明
-U-LTAS 上軸ガラス製スケールリニアエンコーダ。増幅正弦波出力1 Vpp (20 µm信号周期)
-U-LTX50 上軸ガラス製スケールリニアエンコーダ。直角位相後に0.1 µmラインドライバ出力

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。