ATS25リニアステージ

説明

設計の主な特徴

  • マイクロメートルまたは特許取得済みの*サブミクロン分解能ドライブ
  • 移動量12 mmおよび25 mm
  • 優れた位置決め性能のクロスローラーベアリング
  • 薄型

Aerotechの薄型ATS25シリーズステージは、滑らかで精度の高いリニア並進ステージです。 ATS25シリーズステージには、Aerotechの特許取得済み*サブミクロン分解能ドライブが搭載されています。 このドライブには粗調整と微調整の双方を備えています。 粗調整ノブは迅速な並進を可能にし、微調整ノブは25 nmの分解能を提供します。

与圧済みクロスローラーベアリングは、リニアボールベアリングシステムよりも、幾何学的精度が高く、可搬重量が大きくなっています。 こうしたステージはXYおよびXYZでの用途に簡単に取り付けられます。 垂直の取り付けが必要な用途においては、オプションで取り付け用ブラケットを使用できます。

仕様

機械的仕様

モデルATS25-12ATS25-25
範囲 12.5 mm 25 mm
シンブル目盛 マイクロメートルスピンドル 1 micron
サブミクロンドライブ 0.1 micron
分解能(1) 25 nm
最大荷重 水平方向 22.7 kg
垂直 9.09 kg
移動の直線性および平坦性 0.5 micron
位置繰り返し精度(単方向) 1 µm (20 nm)
材料 アルミ製
仕上げ 黒色アルマイト
重量 0.45 kg 0.9 kg
  1. 動作0.5°ごとの微細調整

寸法

注文情報

ATS25手動リニアステージ

オプション 説明
ATS25-12 12.5 mmの移動ステージ
ATS25-25 25 mmの移動ステージ