ロータリーダイレクトドライブナノポジショナー

ANTシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、ANTリニアステージとの互換性と簡単な統合に特化して設計され、ナノ位置決め用途に要求されるずば抜けた誤差運動性能を提供します。 また、制限付き回転と制限なし回転の双方で用意できます。

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