ABRSエアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

説明

設計の主な特徴

  • ダイレクトドライブ、スロットレス、ブラシレスサーボモーター
  • ゼロコギングモーターで傑出した速度安定性を確保
  • 優れた誤差運動と心振れ性能
  • 直接連結の高精度ロータリーエンコーダ
  • 薄型平面型デザイン
  • 機械的接触なし

AerotechのABRSシリーズの回転エアベアリングステージは、極薄型パッケージに優れた角度位置決め、速度安定性、誤差運動パフォーマンスを備えています。 ABRSは、ウェハー検査、高精度計測、X線回析システム、光学検査&光学機器製造、MEMS/ナノ技術デバイス製造の要件に厳密に対応するように設計されています。

コンパクトパッケージ

ABRSシリーズダイレクトドライブ回転ステージの設計は、ステージの高さを最小にするように最適化されています。 薄型のステージによって、システムの有効な作用高さを短縮し、「スタックアップ」に関連する誤差を低減させました。 全体的な低さに加え、ABRSシリーズは、製品フィードスルー、レーザービーム照射、ケーブルクリアランス、または用途固有の要件などのために使用できるクリアアパーチャを提供します。

優れた機械設計

ABRSの設計は、高い剛性と耐荷重のための大きなエアベアリング面を特徴とし、軸方向/半径方向の誤差運動だけでなく、傾斜誤差運動も優れていまます。 結果として起こる面誤差運動は、他の回転エアベアリングテーブル/スピンドルよりもはるかに良く、優れた平面性能を必要とする用途に役立ちます。

ブラシレスダイレクトドライブ

位置決め性能を最大限に高めるため、ABRSシリーズはAerotechのSシリーズのスロットレスブラシレスモーターを使用します。 モーターは、最低限の熱生成で高トルク出力を実現するように設計された高度な磁気回路を使用しています。 スロットレス設計は本質的にゼロコギングでトルクリップルがありません。 このため、ABRSステージは低速・高速でのスムーズなスキャン速度を必要とする用途に適しています。

正確な位置決め

光学エンコーダはABRSに標準装備されています。 エアロテックのフィードバック乗算器/コントロールと連結した場合、0.03秒角の分解能が実現されました。

カスタムデザイン

ABRSのカスタム版は、レートテーブルと慣性誘導試験台の用途でご利用いただけます。

仕様

ABRSシリーズの仕様

モデルABRS150MPABRS200MPABRS250MPABRS300MP
150 mm 200 mm 250 mm 300 mm
テーブルトップの直径 128.1 mm 178.1 mm 228.1 mm 278.1 mm
高さ 80 mm 90 mm 100 mm 110 mm
アパーチャ 8 mm 20 mm 35 mm 75 mm
総移動量 360°連続
バス電圧 DC 80V
基本的なエンコーダ分解能 3600 lines/rev 8192 lines/rev 11,840 lines/rev 18,000 lines/rev
最大速度(1) 300 rpm 300 rpm 500 rpm 500 rpm
精度(2) ±3 arc sec ±2 arc sec
双方向繰り返し精度 <2 arc sec <1 arc sec
最大荷重(3) 軸方向 8 kg 31 kg 66 kg 97 kg
半径方向 4 kg 15 kg 36 kg 51 kg
傾斜 3 N-m 10 N-m 28 N-m 45 N-m
軸方向の誤差運動(同期) <175 nm <100 nm
半径方向の誤差運動(同期) <450 nm <250 nm
傾斜誤差運動(同期) <9.7 µrad
(<2.0 arc sec)
<3.4 µrad
(<0.7 arc sec)
<2.4 µrad
(<0.5 arc sec)
<2.4 µrad
(<0.5 arc sec)
軸方向の誤差運動(非同期) <20 nm
半径方向の誤差運動(非同期) <20 nm
傾斜誤差運動(非同期) <0.4 µrad
(<0.08 arc sec)
<0.3 µrad
(<0.06 arcsec)
<0.2 µrad
(<0.04 arc sec)
<0.2 µrad
(<0.04 arc sec)
動作圧力(5) 80 psig (5.5 bar) + 0 psig (0.0 bar)/-10 psig (0.7 bar)
空気消費量(6) <56.6 SLPM (<2 SCFM)
慣性力 無負荷 3850 kg-mm2 13,800 kg-mm2 39,100 kg-mm2 102,000 kg-mm2
総質量 4.8 kg 9.1 kg 15.6 kg 24.5 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)

  1. ステージ性能に基づく最大速度。 最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 各ステージで認定済み。 Aerotechのコントローラを使用する必要があります。
  3. 最大荷重は相互排他的です。
  4. 誤差運動仕様はすべて60 rpmで測定されています。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラに連結するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。

寸法

注文情報

ABRSエアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

オプション 説明
ABRS150MP 150 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ABRS200MP 200 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ABRS250MP 250 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ABRS300MP 300 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

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オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x50補間

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。