ABRTエアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

説明

設計の主な特徴

  • 高トルク出力、ダイレクトドライブ、スロットレスブラシレスサーボモーター
  • ゼロコギングモーターで傑出した速度安定性を確保
  • 優れた誤差運動と心振れ性能
  • 直接連結の高精度ロータリーエンコーダ
  • 大口径クリアアパーチャ
  • 機械的接触なし

AerotechのABRTシリーズ回転エアベアリングステージは、優れた角度位置決め、速度安定性、誤差運動性能に加え、見事なペイロード性能や傑出した半径方向および軸方向の剛性を提供します。 ABRTは、ウェハー検査、高精度計測用途、X線回析システム、光学検査&光学機器製造、およびMEMS/ナノ技術デバイス製造の要件に厳密に対応するように設計されています。

優れた機械設計

ABRTの設計は、高い剛性と耐荷重のための大きなエアベアリング面と革新的な与圧を特徴とし、軸方向/半径方向の誤差運動だけでなく、傾斜誤差運動も優れていまます。 結果として得られる性能は、他の回転エアベアリングテーブルおよびスピンドルよりもはるかに良く、優れた平面性能を必要とする用途に役立ちます。 さらにこのステージ製品群は、製品フィードスルー、レーザービーム照射、ケーブルクリアランス、または用途固有の要件などのために使用できるクリアアパーチャを提供します。

ブラシレスダイレクトドライブ

位置決め性能を最大限に高めるため、ABRTシリーズは最適化したAerotechのSシリーズスロットレスブラシレスモーターを使用します。 モーターは、最低限の熱生成で高トルク出力を実現するように設計された高度な磁気回路を使用しています。 スロットレス設計は本質的にゼロコギングでトルクリップルがありません。 このため、ABRTステージは低速・高速でのスムーズなスキャン速度を必要とする用途に適しています。

正確な位置決め

光学エンコーダはABRTに標準装備されています。 エアロテックのフィードバック乗算器/コントロールと連結した場合、0.03秒角の分解能が実現されました。

カスタムデザイン

ABRTのカスタム版は、レートテーブルや高精度慣性誘導試験台の要件を満たすことができます。 他にもスリップリングやロータリーユニオンなどの機能が使用可能です。

柔軟な構成

Aerotechは広範なサーボアンプと高度なコントローラを製造し、完全な統合パッケージを提供しています。

仕様

ABRTの仕様

モデルABRT150ABRT200ABRT260
146 mm 196 mm 260 mm
テーブルトップの直径 100 mm 145 mm 200 mm
高さ 135 mm 165 mm 185 mm
アパーチャ 20 mm 30 mm 50 mm
総移動量 360°連続
バス電圧 DC 340V
基本的なエンコーダ分解能 11,840 lines/rev 18,000 lines/rev 23,600 lines/rev
最大速度(1) 1200 rpm 800 rpm 600 rpm
精度(2) ±2 arc sec
繰り返し精度 <1 arc sec
最大荷重(3) 軸方向 20 kg 41 kg 69 kg
半径方向 3 kg 6 kg 10 kg
傾斜 3.5 Nm 8 Nm 18 Nm
軸方向の誤差運動(同期) <100 nm
半径方向の誤差運動(同期) <150 nm
傾斜誤差運動(同期) <2.4 µrad (<0.5 arc sec)
軸方向の誤差運動(非同期) <20 nm
半径方向の誤差運動(非同期) <20 nm
傾斜誤差運動(非同期) <0.2 µrad (<0.04 arc sec)
動作圧力(5) 80 psig (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空気消費量(6) <56.6 SLPM (<2 SCFM)
慣性力 無負荷 2300 kg·mm2 13,500 kg·mm2 46,400 kg·mm2
総質量 6.7 kg 14.7 kg 27.1 kg
材料 アルミ製
仕上げ 硬質皮膜加工(ロックウェル硬さ62)

  1. ステージ性能に基づく最大速度。 最大適用速度は、システムのデータ速度や分解能によって制限されることがあります。
  2. 各ステージで認定済み。 Aerotechのコントローラを使用する必要があります。
  3. 最大荷重は相互排他的です。
  4. 誤差運動仕様はすべて60 rpmで測定されています。
  5. エアベアリングを圧力不足から保護するため、モーションコントローラに連結するインライン圧力スイッチを推奨します。
  6. 空気供給は清潔に保ち、露点温度0°F(-17.78°C)まで乾燥させ、フィルターを適用して0.25 µm以下に抑える必要があります。 純度99.9%の窒素ガスを推奨します。

寸法

注文情報

ABRTエアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

オプション 説明
ABRT150 150 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ABRT200 200 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ABRT260 260 mm幅エアベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x50補間

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト 
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

アクセサリ(別品目として注文)

オプション 説明
-ABF エアベアリングろ過キット