ADRT機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

説明

設計の主な特徴

  • 高トルク出力、ダイレクトドライブ ブラシレスサーボモーター
  • コギングフリー設計で抜群の速度安定性
  • 優れた心振れと面振れ
  • 直接連結の高精度ロータリーエンコーダ
  • 大口径クリアアパーチャ

AerotechのADRTシリーズ ダイレクトドライブ回転ステージは、優れた角度位置決めと速度制御を備えています。 用途は、割り出しから高速レーザー機械加工、高精度ウェハー検査までさまざまです。

優れた機械設計

2つの大直径ベアリングによって、心振れ、モーメント剛性、繰り返し精度の性能を最大限に高めます。 大直径ベアリングは、性能を劣化させずに、大きなペイロードの使用を可能にします。

ブラシレスダイレクトドライブ

位置決め性能を最大限に高めるために、ADRTシリーズは、AerotechのSシリーズブラシレススロットレスモーターを採用しています。 このモーターはブラシレスダイレクトドライブモーターのあらゆる利点を提供します。摩耗するブラシや保守の必要なギアトレーンがなく、優れた加速度と速度を実現します。 モーターはスロットレス、アイアンレスのため、コギングが発生しません。つまり、トルクリップルがまったくないことを意味します。

ADRTの低い固有慣性と最適化されたモーター設計によって、他の競合製品よりも非常に優れた速度と加速度が実現します。 こうしたステージは、トルク範囲の同じ他社製品に比べて薄型です。

ADRTは、低慣性とノンバックラッシュにより、頻繁に方向を変える用途向けに最適なソリューションです。

正確な位置決め

1回転当たりのライン数は3600~5400ラインです。 AerotechのMXHシリーズ分解能乗算器と連結すると、0.12秒の角分解能が実現できます。

モーターおよび高性能ロータリーエンコーダは共有シャフトに直接連結できます。 ギアトレーンと機械的連結がないため、ヒステリシス、ワインドアップ、またはバックラッシュによる位置誤差が生じません。

柔軟な構成

オプションには、精度や滑らかさ、ランアウト性能を向上させる高精度ベアリングが含まれます。 スリップリングとロータリーユニオンはカスタムツールの統合を容易にし、保持ブレーキは、大きな衝撃荷重が加わった時やモーターから電源が取り外された時にステージの動きを制限します。

ADRTには、「Tスロット」が外部ハウジングに組み込まれています。 この溝は、テーブルを水平に取り付けたり、特定用途のカスタム固定治具を取り付けたりするのに使用できます。

Aerotechは広範なサーボアンプと高度なコントローラを製造し、完全な統合パッケージを提供しています。

仕様

ADRTシリーズの仕様

モデルADRT100-85ADRT100-135ADRT150-115ADRT150-135ADRT150-180
最大トルク(連続) 0.48 N·m 1.6 N·m 2.85 N·m 5.06 N·m 9.29 N·m
バス電圧(1) 最大DC 340V
精度(2、3) 未較正 60秒角
較正時 5 arc sec
繰り返し精度(3) 3 arc sec
軸方向の誤差運動 5 µm
半径方向の誤差運動(4) 5 µm
傾斜誤差運動 10 arc sec
高さ 85 mm 135 mm 115 mm 135 mm 180 mm
アパーチャ 13 mm 50 mm
ラジアル荷重(5) 10 kg 25 kg
軸負荷 15 kg 30 kg
定格速度 1500 rpm 600 rpm
慣性力 0.00028 kg·m2 0.00067 kg·m2 0.003379 kg·m2 0.004958 kg·m2 0.008118 kg·m2
質量 2.0 kg 3.6 kg 5.3 kg 6.9 kg 10.2 kg
仕上げ テーブル 硬質皮膜加工
ステージ 黒色アルマイト
  1. Bus voltage for ADRT100 with -25D connector is limited to 160 V.
  2. Calibrated accuracy requires -PL2 option and Aerotech controls.
  3. 繰り返し精度と精度は、エンコーダ分解能によって決まります。 ここに記載した仕様を満たすには、エンコーダ分解能を0.36 arc sec未満にする必要があります。
  4. 仕様は単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  5. モーメント荷重は、最大軸負荷をかけた250 rpmでの5年連続回転に基づきます。 低速や低負荷サイクルの用途には、より大きなモーメント荷重もご用意可能です。 詳細はAerotechまでお問い合わせください。

ADRTシリーズの仕様

モデルADRT200-155ADRT200-185ADRT260-160ADRT260-180
最大トルク(連続) 11.12 N·m 15.93 N·m 19.71 N·m 29.09 N·m
バス電圧 最大DC 340V
Accuracy(1,2) 未較正 60秒角
較正時 5 arc sec
繰り返し精度(2) 3 arc sec
軸方向の誤差運動 5 µm
Radial Error Motion(3) 5 µm
傾斜誤差運動 10 arc sec
高さ 155 mm 160 mm
アパーチャ 75 mm 100 mm
Radial Load(4) 80 kg 110 kg
軸負荷 140 kg 170 kg
定格速度 600 rpm 375 rpm
慣性力 0.020991 kg·m2 0.027666 kg·m2 0.066488 kg·m2 0.08566 kg·m2
質量 13.4 kg 16.7 kg 25.4 kg 30.6 kg
仕上げ テーブル 硬質皮膜加工
ステージ 黒色アルマイト
  1. Calibrated accuracy requires -PL2 option and Aerotech controls.
  2. 繰り返し精度と精度は、エンコーダ分解能によって決まります。 ここに記載した仕様を満たすには、エンコーダ分解能を0.36 arc sec未満にする必要があります。
  3. 仕様は単軸システムのものです。 多軸システムの性能はペイロードと作業点によって決まります。 多軸または非標準用途については、工場にご相談ください。
  4. モーメント荷重は、最大軸負荷をかけた250 rpmでの5年連続回転に基づきます。 低速や低負荷サイクルの用途には、より大きなモーメント荷重もご用意可能です。 詳細はAerotechまでお問い合わせください。

ADRTのエンコーダオプション最高速度

エンコーダオプションADRT100ADRT150ADRT200ADRT260
-E1/-E2/-E3/-E4 1500 rpm 600 rpm 600 rpm 375 rpm
-E5 800 rpm 600 rpm 500 rpm 375 rpm
  • ADRT軸方向および半径方向の片持ち負荷容量

寸法

注文情報

ADRT機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

オプション 説明
ADRT100 ADRT100機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ADRT150 ADRT150機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ADRT200 ADRT200機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ
ADRT260 ADRT260 mechanical-bearing direct-drive rotary stage

ステージの高さ(必須)

オプション 説明
-85 ステージの高さ85 mm - ADRT100のみ使用可能
-115 ステージの高さ115 mm - ADRT150のみ使用可能
-135 135 mmステージの高さ - ADRT100およびADRT150のみ使用可能
-155 ステージの高さ155 mm - ADRT200のみ使用可能
-160 ステージの高さ160 mm - ADRT260のみ利用可能
-180 180 mm stage height - Only available for ADRT150 and ADRT 260
-185 ステージの高さ185 mm - ADRT200のみ使用可能

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 低電流、-A巻線
-M2 低電圧、-B巻線
    注: ADRT100にのみ利用できます。

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp
-E2 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x5補間
-E3 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x10補間
-E4 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x25補間
-E5 インクリメンタルエンコーダ、TTL、x50補間

コネクタ(必要)

オプション 説明
-CN1 4ピンHPDモーターと25ピンD Fbkコネクタ
-CN2 25ピンDモーターおよび25ピンD Fbkコネクタ
    注: ADRT100のみに利用できます。

リアシール(オプション)

オプション 説明
-SL リアシール
    注: ADRT100のみに利用できます。

エアパージ(オプション)

オプション 説明
-PR エアパージ取り付け具
    注: ADRT100のみに利用できます。

ブレーキ(オプション)

オプション 説明
-BK 保持ブレーキ
    注: ADRT150およびADRT200でのみ使用可能です。 回転角制限オプションでは使用できません。

回転角制限(オプション)

オプション 説明
-TR010 移動量限定、+/- 5度
-TR020 移動量限定、+/- 10度
-TR040 移動量限定、+/- 20度
-TR060 移動量限定、+/- 30度
-TR080 移動量限定、+/- 40度
-TR090 移動量限定、+/- 45度
-TR100 移動量限定、+/- 50度
-TR120 移動量限定、+/- 60度
-TR140 移動量限定、+/- 70度
-TR160 移動量限定、+/- 80度
-TR180 移動量限定、+/- 90度
-TR200 移動量限定、+/- 100度
-TR220 移動量限定、+/- 110度
-TR240 移動量限定、+/- 120度
-TR260 移動量限定、+/- 130度
-TR270 移動量限定、+/- 135度 - ADRT200とADRT260でのみ利用可能
-TR280 移動量限定、+/- 140度 - ADRT200とADRT260でのみ利用可能
-TR300 移動量限定、+/- 150度 - ADRT200とADRT260でのみ利用可能
    注: ADRT100では使用できません。 ブレーキオプションでは使用できません。
    -TRxxxオプションには、電気的限界と機械的ハードストップが含まれます。 名目上の移動距離と電気的限界との間には、1辺につき1.5度余分にあり、名目上の移動と機械的なハードストップとの間には、1辺につき5度余分にあります。 (例: TR90の公称移動距離は+/-45度で、機械的ハードストップ間の電気的限界と+/-50度の間で+/-46.5度の移動量があります。

計測(必須)

オプション  
-PL0 計測性能プロットなし
-PL1 計測、性能プロットで較正なし
-PL2 計測、性能プロットによる較正済み(HALAR)

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。