ALAR機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

説明

設計の主な特徴

  • 5種類のアパーチャサイズ: 100 mm、150 mm、200 mm、250 mm、325 mm
  • 軸方向の耐荷重は最大595 kg、ラジアル荷重は680 kg
  • 優れた精度と繰り返し精度
  • コギングフリーのモーターでスムーズモーションを実現
  • ギア摩耗による精度の経時変化なし
  • 連続回転速度は45~300 rpm
  • 真空対応モデルも用意可能
  • アブソリュートエンコーダオプション

AerotechのALARシリーズダイレクトドライブ回転ステージは、非常に大きなアパーチャを持ち、優れた角度位置決めと速度制御を備えています。 大きなアパーチャとダイレクトドライブモーターを組み合わせたALARシリーズによって、ウォーム駆動の大型アパーチャステージは過去のものとなります。

ALARの優位性

今では、ゼロバックラッシュであり、ウォーム駆動ステージでよく見られるギア摩耗やギア振動がない、大型アパーチャ回転ステージをご利用いただけるようになりました。 また、ダイレクトドライブはウォーム駆動よりはるかに速いため、試験が短時間で終わるという付加価値もあります。 生産現場において、これは試験の高速化、製造コストの低減、そして収益の向上を意味します。 システムの精度と繰り返し精度の観点から見ると、ギア摩耗がないためにメンテナンスの必要がなく、ステージ性能は長期間にわたって維持されます。 高精度でバックラッシュがないため、お客様はより精密な検査システムによってもっと精密な製品を製造できます。

用途

ALARの用途には、1軸・多軸エレクトロオプティックセンサーテスト、ミサイルシーカーテスト、アンテナテスト、慣性航行装置試験、フォトニック部品のアライメント、高精度レーザー機械加工、および高精度ウェハー検査などがあります。 また、10-6トールの真空における試験にも対応します。 回転ステージは多軸ジンバルとして構成することもできます。

高速

ALARステージは、選択したモデルに応じて45~300 rpmで動作します。 この速度範囲は、同程度の大きさのギアドライブステージを大幅に上回っています。

優れた機械設計

アンギュラコンタクト軸受によって、傾斜誤差、モーメント剛性、回転摩擦に関する性能を最大限に高めます。 精密に機械加工されたシャフトが傾斜誤差をさらに抑えます。 設計には、ケーブルの配線問題を最低限に抑える一体型接続を採用しています。 ALARは、特に限られたスペースで360°の連続モーションを必要とする用途で力を発揮します。 高さ65-160 mmのステージによって、移動制限なしにスムーズモーションを提供します。

ブラシレスダイレクトドライブ

位置決め性能を最大限に高めるために、ALARシリーズは、Aerotechのブラシレススロットレスモーターを採用しています。 このモーターはブラシレスダイレクトドライブモーターのあらゆる利点を提供します。摩耗するブラシや保守の必要なギアトレーンがなく、優れた加速度と速度を実現します。 モーターはスロットレス、アイアンレスのため、コギングが発生しません。つまり、トルクリップルがまったくないことを意味します。 このためALARは、優れたコンタリング動作、スムーズなスキャン速度、または精密なインクリメンタルステップを要する用途に適しています。

大きなペイロードと大きなモーメント荷重剛性

ALARでは、2種類の異なる構成をご用意しています。 標準ユニット(SP)は大きな耐荷重と大きなモーメント荷重剛性を備えていて、回転軸が重力に平行または垂直でペイロードの重心がステージから張り出す用途に対応できます。 薄型ユニット(LP)は高いペイロード性能を備えていて、回転軸が重力に平行な用途に適しています。 SP、LPのどちらのユニットも、アパーチャオプションとモーターオプションは同じです。 SPステージでもLPステージでも260~1300 lbの軸負荷に対応します。

正確な位置決め

パフォーマンスは、エンコーダの1回転当たりのライン数、31000~76800によって確保され、カウント当たり0.02~0.009秒角の分解能を実現します。 モーターおよび高性能ロータリーエンコーダは共有シャフトに直接連結できます。 ギアトレーンと機械的連結がないため、ヒステリシス、ワインドアップ、またはバックラッシュによる位置誤差が生じません。 結果として、±2秒角の精度と±0.5秒角の双方向繰り返し精度が達成できます。ALAR2

柔軟な構成

Aerotechは広範なサーボアンプと高度なコントローラを製造し、完全な統合パッケージを提供しています。

仕様

ALARシリーズの仕様

モデルALAR100SPALAR100LPALAR150SPALAR150LP
アパーチャ 100 mm 100 mm 150 mm 150 mm
モーター ブラシレススロットレス
連続電流 Apk 2.7 A 5.76 A 6.2 A 5.41 A
Arms 1.9 A 4.1 A 4.4 A 4.1 A
ピーク電流、停動 Apk 10.8 A 33.5 A 24.8 A 31.4 A
Arms 7.6 A 23.7 A 17.5 A 22.2 A
バス電圧 最大DC 340V
無制限の移動量 あり
最大制限付き移動量 ±170° ±170° ±170° ±170°
160Vバスでの最大速度(1) 300 rpm 50 rpm 250 rpm 45 rpm
最大加速度 1364 rad/s2 1009 rad/s2 1330 rad/s2 829 rad/s2
分解能(最小 インクリメンタル運動)(2) 0.1 µrad
(0.02 arc sec)
0.1 µrad
(0.02 arc sec)
0.08 µrad
(0.016 arc sec)
0.09 µrad
(0.018 arc sec)
インクリメンタルエンコーダのライン数 31,488 lines/rev 31,488 lines/rev 40,000 lines/rev 36,000 lines/rev
最大トルク 23.9 N·m 17.5 N·m 42.9 N·m 22.9 N·m
連続トルク 6.0 N·m 3.0 N·m 10.7 N·m 4.0 N·m
ステージ質量 16.3 kg 8.3 kg 18.6 kg 9.8 kg
リミット付きステージ質量 17 kg 8.9 kg 19.6 kg 10.8 kg
シャフト慣性 0.022 kg·m2 0.022 kg·m2 0.040 kg·m2 0.031 kg·m2
リミット付きシャフト慣性 0.026 kg·m2 0.026 kg·m2 0.051 kg·m2 0.042 kg·m2
軸負荷 1550 N (348 lb) 1175 N (264 lb) 1950 N (438 lb) 1325 N (298 lb)
ラジアル荷重 1350 N (303 lb) 950 N (214 lb) 1925 N (433 lb) 1275 N (287 lb)
モーメント荷重 250 N·m 150(3) N·m 450 N·m 225(3) N·m
繰り返し精度 ±2.4 µrad (±0.5 arc sec)
精度(4) ±9.7 µrad (±2 arc sec)
傾斜誤差運動 9.7 µrad (2.0 arc sec)
  1. 方形波デジタルエンコーダオプションでは、最大速度が記載値を下回ります。 ステージとエンコーダの速度の具体的な組み合わせについては、工場にお問い合わせください。
  2. 分解能は、2000倍のコントローラ乗算器を備えた-ASエンコーダを想定しています。
  3. このモーメント荷重を達成するには、強固な取付板でALAR-LPの土台を完全に支える必要があります。
  4. 各ステージで認定済み。 Aerotechのコントローラを使用する必要があります。

ALARシリーズの仕様

モデルALAR200SPALAR200LPALAR250SP-M1ALAR250SP-M2ALAR250LP
アパーチャ 200 mm 200 mm 250 mm 250 mm 250 mm
モーター ブラシレススロットレス
連続電流 Apk 5.3 5.3 5.3 7.95 5.3
Arms 3.75 3.75 3.75 5.62 3.75
ピーク電流、停動 Apk 34.8 34.8 34.8 52.2 34.8
Arms 24.6 24.6 24.6 36.9 24.6
バス電圧 最大DC 340V
無制限の移動量 あり
最大制限付き移動量 ±170° ±170° ±170° ±170° ±170°
最大速度(1) 90 rpm 90 rpm 140 rpm 140 rpm 90 rpm
最大加速度 361 rad/s2 570 rad/s2 287 rad/s2 287 rad/s2 407 rad/s2
分解能(最小 インクリメンタル運動)(2) 0.06 µrad
(0.012 arc sec)
0.07 µrad
(0.014 arc sec)
0.05 µrad
(0.01 arc sec)
0.05 µrad
(0.01 arc sec)
0.05 µrad
(0.01 arc sec)
インクリメンタルエンコーダのライン数 55,040 lines/rev 47,200 lines/rev 64,800 lines/rev 64,800 lines/rev 55,040 lines/rev
最大トルク 126.8 N·m 126.8 N·m 137.8 N·m 206.7 N·m 147.9 N·m
連続トルク 19.3 N·m 19.3 N·m 21.0 N·m 31.5 N·m 22.5 N·m
ステージ質量 40.4 kg 28.2 kg 51.3 kg 51.3 kg 35.0 kg
リミット付きステージ質量 43.1 kg 30.1 kg 54.5 kg 54.5 kg 37.4 kg
シャフト慣性 0.320 kg·m2 0.190 kg·m2 0.500 kg·m2 0.500 kg·m2 0.310 kg·m2
リミット付きシャフト慣性 0.359 kg·m2 0.229 kg·m2 0.573 kg·m2 0.573 kg·m2 0.383 kg·m2
軸負荷 4675 N (1051 lb) 4350 N (978 lb) 4950 N (1113 lb) 4950 N (1113 lb) 4950 N (1113 lb)
ラジアル荷重 4775 N (1073 lb) 4125 N (927 lb) 5200 N (1169 lb) 5200 N (1169 lb) 5050 N (1135 lb)
モーメント荷重 1600 N·m 1075(3) N·m 1825 N·m 1825 N·m 1475(3) N·m
繰り返し精度 ±2.4 µrad (±0.5 arc sec)
精度(4) ±9.7 µrad (±2 arc sec)
傾斜誤差運動 9.7 µrad (2.0 arc sec)
  1. 方形波デジタルエンコーダオプションでは、最大速度が記載値を下回ります。 ステージとエンコーダの速度の具体的な組み合わせについては、工場にお問い合わせください。
  2. 分解能は、2000倍のコントローラ乗算器を備えた-ASエンコーダを想定しています。
  3. このモーメント荷重を達成するには、強固な取付板でALAR-LPの土台を完全に支える必要があります。
  4. 各ステージで認定済み。 Aerotechのコントローラを使用する必要があります。

ALARシリーズの仕様

モデルALAR325SP-M1ALAR325SP-M2ALAR325LP
アパーチャ 325 mm 325 mm 325 mm
モーター ブラシレススロットレス
連続電流 Apk 5.1 7.65 5.1
Arms 3.63 5.41 3.63
ピーク電流、停動 Apk 31.2 46.8 31.2
Arms 22.1 33.1 22.1
バス電圧 最大DC 340V
無制限の移動量 あり
最大制限付き移動量 ±170° ±170° ±170°
最大速度(1) 150 rpm 150 rpm 120 rpm
最大加速度 185 rad/s2 185 rad/s2 339 rad/s2
分解能(最小 インクリメンタル運動)(2) 0.04 µrad (0.009 arc sec) 0.04 µrad (0.009 arc sec) 0.04 µrad (0.009 arc sec)
インクリメンタルエンコーダのライン数 76,800 lines/rev 76,800 lines/rev 64,800 lines/rev
最大トルク 213.8 N·m 320.8 N·m 213.8 N·m
連続トルク 35.0 N·m 52.4 N·m 35.0 N·m
ステージ質量 61.2 kg 61.2 kg 44.5 kg
リミット付きステージ質量 64.9 kg 64.9 kg 49.9 kg
シャフト慣性 1.01 kg·m2 1.01 kg·m2 0.55 kg·m2
リミット付きシャフト慣性 1.2 kg·m2 1.2 kg·m2 0.675 kg·m2
軸負荷 5825 N (1310 lb) 5825 N (1310 lb) 5825 N (1310 lb)
ラジアル荷重 6650 N (1495 lb) 6650 N (1495 lb) 6450 N (1450 lb)
モーメント荷重 2650 N·m 2650 N·m 2200(3) N·m
繰り返し精度 ±2.4 µrad (±0.5 arc sec)
精度(4) ±9.7 µrad (±2 arc sec)
傾斜誤差運動 9.7 µrad (2.0 arc sec)
  1. 方形波デジタルエンコーダオプションでは、最大速度が記載値を下回ります。 ステージとエンコーダの速度の具体的な組み合わせについては、工場にお問い合わせください。
  2. 分解能は、2000倍のコントローラ乗算器を備えた-ASエンコーダを想定しています。
  3. このモーメント荷重を達成するには、強固な取付板でALAR-LPの土台を完全に支える必要があります。
  4. 各ステージで認定済み。 Aerotechのコントローラを使用する必要があります。

寸法

  • ALAR100SP
  • ALAR100LP
  • ALAR150SP
  • ALAR150LP
  • ALAR200SP
  • ALAR200LP
  • ALAR250SP
  • ALAR250LP
  • ALAR325SP
  • ALAR325LP

注文情報

ALAR-LP機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

オプション 説明
ALAR100LP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR150LP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR200LP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR250LP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR325LP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ

移動量(必須)

オプション 説明
- 連続移動
-TR010 移動量限定、±5度
-TR020 移動量限定、±10度
-TR030 移動量限定、±15度
-TR060 移動量限定、±30度
-TR090 移動量限定、±45度
-TR120 移動量限定、±60度
-TR180 移動量限定、±90度
-TR240 移動量限定、±120度
-TR300 移動量限定、±150度
-TR340 移動量限定、±170度

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp正弦波
-E2 インクリメンタルエンコーダ、x4補間
-E3 インクリメンタルエンコーダ、x20補間
-E4 インクリメンタルエンコーダ、x40補間
-E5 インクリメンタルエンコーダ、x100補間
-E6 インクリメンタルエンコーダ、x200補間
-E7 アブソリュートエンコーダ

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

注: LPステージは垂直軸用途に最適です。 SPステージは、水平軸または垂直軸の用途に最適です。

ALAR-SP機械ベアリング ダイレクトドライブ回転ステージ

オプション 説明
ALAR100SP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR150SP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR200SP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR250SP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ
ALAR325SP 機械ベアリング、ダイレクトドライブ回転ステージ

モーター(必須)

オプション 説明
-M1 標準モーター
-M2 高出力モーター
注: モーターオプション(-M1および-M2)は、ALAR250SPおよびALAR325SPステージにのみ適用されます。

移動量(必須)

オプション 説明
- 連続移動
-TR010 移動量限定、±5度
-TR020 移動量限定、±10度
-TR030 移動量限定、±15度
-TR060 移動量限定、±30度
-TR090 移動量限定、±45度
-TR120 移動量限定、±60度
-TR180 移動量限定、±90度
-TR240 移動量限定、±120度
-TR300 移動量限定、±150度
-TR340 移動量限定、±170度

フィードバック(必須)

オプション 説明
-E1 インクリメンタルエンコーダ、1 Vpp正弦波
-E2 インクリメンタルエンコーダ、x4補間
-E3 インクリメンタルエンコーダ、x20補間
-E4 インクリメンタルエンコーダ、x40補間
-E5 インクリメンタルエンコーダ、x100補間
-E6 インクリメンタルエンコーダ、x200補間
-E7 アブソリュートエンコーダ

統合(必須)

Aerotechは、標準とカスタムの両方の統合サービスを提供し、お客様のシステムをできるだけ早く完全に運用できるよう支援します。 このシステムでは、次の標準統合オプションを使用できます。 必要な統合レベルがわからない場合、または御社のシステムにカスタム統合サポートが必要な場合は、Aerotechにご相談ください。

オプション 説明
-TAS 統合 - システムとしてテスト
一緒に使用される完全なシステム(例: ドライブ、コントローラ、ステージ)として、コンポーネントグループのテスト、統合、および文書化を行います。 これには、パラメータファイルの生成、システムチューニング、およびシステム構成の文書化が含まれます。
-TAC 統合 - コンポーネントとしてテスト
個々のアイテムを一緒に出荷される個別のコンポーネントとしてテストおよび統合します。 これは通常、スペアパーツ、交換部品、または一緒に使用されないアイテムに使用されます。 こうしたコンポーネントは、より大きいシステムの一部である場合もあればそうでない場合もあります。

注: LPステージは垂直軸用途に最適です。 SPステージは、水平軸または垂直軸の用途に最適です。