ナノ位置決め

高性能ナノ位置決めシステムの目標 - 高いダイナミックパフォーマンス、高精度、高分解能、そして使いやすいソフトウェア - を達成するため、力学、磁気学、電子工学、コンピューティング、デジタルコントロールシステム、および電気機械システム工学の分野で1970年以来積んできた豊富な経験を駆使して、ナノ技術業界における現在および将来の要件を満たす製品を開発しました。

ダイレクトドライブナノポジショナー

Aerotech独自の大移動量ダイレクトドライブナノポジショナーは、ナノメートル級および最大160 mmの移動量におけるサブ秒角の精度を必要とする用途向けであり、研究所および産業用途に適しています。 当社のダイレクトドライブナノポジショニングステージは、線形、XY、回転式、リフト、Z軸、ゴニオメータを含みます。

ピエゾナノポジショナー

さらに、最大600 µmの移動量で最高の精度と分解能を必要とする場合に対応するピエゾナノポジショナーの全製品ラインを開発しました。 AerotechのQシリーズのピエゾナノポジショナーにはリニア、XY、Z軸モデルがあり、顕微鏡検査から光学系アライメントに理想的です。

ナノポジショニングコントロール

弊社のANTおよびQシリーズコントロールは共にハイエンドで高度な機能を提供します。 弊社のDynamic Controls ToolboxやMotion Designerのパッケージをはじめとしたソフトウェアオプションでは、学習制御、高調波消去、コマンドシェーピングなど、使いやすいツールが多数用意されています。こうしたツールによって誤差の追跡が強化され、ステップや整定時間を高速に制御できます。

Aerotechのナノ位置決め製品を、どのようにすれば貴社のナノポジショニングアプリケーションの理想的なソリューションにできるかのご用談に応じます。 ここをクリックして、お客様の要件について、Aerotechのアプリケーションエンジニアにご相談ください。

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