Planar HDX - 超精密な2軸平面型エアベアリングステージ

概要

半導体製造などのハイテク分野で超精密位置決めシステムを供給してきたAerotechの長い歴史は、主要なモーション技術の継続的発展・向上を可能にしました。 こうして培った技術を応用して、Aerotechは市場にある平面型エアベアリングプラットフォームで最も高度なPlanarHDXを開発しました。 PlanarHDXはFEAに最適化されたSiC構造と最大限に向上されたエアベアリング補正技術を使って設計されており、他に例を見ない形状特性と位置決め精度を保ちながら、非常に優れたダイナミックパフォーマンスを実現します。