PlanarDL XYステージ

概要

AerotechのPlanarDLシリーズのステージは、コンパクトな薄型パッケージで優れた幾何学的性能とダイナミックパフォーマンスを提供します。 ± 0.4µmの直線性、± 1µmの平坦性、± 0.4µmの精度を有します。 さまざまな移動量とパフォーマンスオプションにより、このステージは表面形状測定からLEDウェハーのけがきにいたる広範な用途に理想的です。